- 염소산 저산 에칭 시스템
- DSC - 5000X HN
염소산 저산 전용 에칭 컨트롤러는 전용 센서 적용으로
낮은 염산 적용시 적합하고 고신뢰를 확보하며 델타아이의
Super Speed Analog Circuit 적용으로 Real Time으로
아주 빠르게 분석 및 제어가 동시에 이루어짐.
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염소산 저산 전용 에칭 컨트롤러는 전용 센서 적용으로
낮은 염산 적용시 적합하고 고신뢰를 확보하며 델타아이의
Super Speed Analog Circuit 적용으로 Real Time으로
아주 빠르게 분석 및 제어가 동시에 이루어짐.